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Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
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Development of a NbN / AlN / NbN Multilayer Technology
Forschungsthema:
Dünnschichttechnologie
Typ:
Masterarbeit
Betreuung:
Dipl.-Ing. Max Meckbach
,
Dr. rer. nat. Konstantin Ilin
Bearbeitung:
Vijeet Gupta
