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Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
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Optimierung von Ätzprozessen zur Mikro- und Nanostrukturierung
Forschungsthema:
Quantenbauelemente
Typ:
Studienarbeit
Betreuung:
Dipl.-Phys. Christoph Kaiser,
Dipl.-Ing. Max Meckbach
Bearbeitung:
Maher Rezem
