J. M. Meckbach

Dr.-Ing. Max Meckbach

  • Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
    Hertzstraße 16
    Gebäude: 06.41
    D - 76187 Karlsruhe

Abgeschlossene Studien-, Bachelor-, Diplom- und Masterarbeiten
Titel Forschungsthema Betreuung Bearbeitung
Development of a NbN / AlN / NbN Multilayer Technology Dünnschichttechnologie

Dipl.-Ing. Max Meckbach, Dr. rer. nat. Konstantin Ilin

Vijeet Gupta
Integration einer dritten supraleitenden Metallebene in die Nb-AlOx-Nb Technologie Dünnschichttechnologie und Josephson-Kontakte

Dipl.-Ing. Max Meckbach

Simon Bühler
Creation of artificial 1D vortex crystals using current injectors Josephson-Kontakte und Mikrowellentechnik

Dipl.-Ing. Max Meckbach,
Dr.-Ing. Stefan Wünsch

Simon Bühler
Untersuchung der Isolationseigenschaften und der dielektrischen Verluste in SiO2 Dünnschichttechnologie

Dipl.-Ing. Max Meckbach 

Wolfgang Heni

Charakterisierung der Parameterstreuung von Josephson-Kontakten für die Skalierbarkeit ihres Herstellungsprozesses Josephson-Kontakte

Dipl.-Ing. Max Meckbach

Sebastian Heunisch

Optimierung von Ätzprozessen zur Mikro- und Nanostrukturierung Quantenbauelemente

Dipl.-Phys. Christoph Kaiser,

Dipl.-Ing. Max Meckbach

Maher Rezem
Optimization of noise temperature of THz HEB mixers based on AlN/NbN multi-layers THz-Detektoren und Dünnschichttechnologie

Dipl.-Ing. Max Meckbach,
Dr. rer. nat. Konstantin Ilin

Pavol Marko
Variable Temperature Characterization of Digital Superconductor Circuits Josephson-Kontakte

Dipl.-Ing. Max Meckbach, externe Arbeit bei HYPRES Inc. 

Alexander Lochbaum
Mehrstufiger Isolationsprozess zur Planarisierung von Josephson-Kontakten Josephson-Kontakte

Dipl.-Ing. Max Meckbach

 Michael Merker

Veröffentlichungen


2018
Zeitschriftenaufsätze
Energy of dendritic avalanches in thin-film superconductors
Qureishy, T.; Vestgården, J. I.; Qviller, A. J.; Fjellvåg, A. S.; Meckbach, J. M.; Torgovkin, A.; Johansen, T. H.; Ilin, K.; Siegel, M.; Maasilta, I.; Mikheenko, P.
2018. AIP Advances, 8 (8), Art. Nr.: 085128. doi:10.1063/1.5045682
2014
Zeitschriftenaufsätze
Aluminum nitride nanophotonic circuits operating at ultraviolet wavelengths
Stegmaier, M.; Ebert, J.; Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Siegel, M.; Pernice, W. H. P.
2014. Applied physics letters, 104 (9), 091108/1–4. doi:10.1063/1.4867529
2013
Zeitschriftenaufsätze
Sub-µm Josephson Junctions for Superconducting Quantum Devices
Meckbach, J. M.; Merker, M.; Buehler, S. J.; Ilin, K.; Neumeier, B.; Kienzle, U.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Koelle, D.; Siegel, M.
2013. IEEE transactions on applied superconductivity, 23 (3), Article no: 6374233. doi:10.1109/TASC.2012.2231719
TES Bolometers With High-Frequency Readout Circuit
Kuzmin, A. A.; Shitov, S. V.; Scheuring, A.; Meckbach, J. M.; Il’in, K. S.; Wuensch, S.; Ustinov, A. V.; Siegel, M.
2013. IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology, 3 (1), 25–31. doi:10.1109/TTHZ.2012.2236148
Poster
Superconducting nanowire single-photon detectors on silicon substrate with AlN buffer layer
Trojan, P.; Marko, P.; Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Siegel, M.
2013, Oktober 7. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2013), Bad Herrenalb, Deutschland, 6.–8. Oktober 2013
All-NbN/AlN/NbN Josephson Junctions on Silicon Substrates
Merker, M.; Meckbach, J. M.; Bühler, S.; Ilin, K.; Siegel, M.
2013. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2013), Bad Herrenalb, Deutschland, 6.–8. Oktober 2013
Planar multilayer process for Josephson junction devices
Merker, M.; Meckbach, J. M.; Bühler, S.; Rudolph, M.; Ilin, K.; Kölle, D.; Kleiner, R.; Siegel, M.
2013. 14th International Superconductive Electronics Conference (ISEC 2013), Cambridge, MA, USA, 7.–11. Juli 2013
Multi-Layer technology for NbN/AlN/NbN Josephson Junctions
Meckbach, J. M.; Merker, M.; Bühler, S.; Il’in, K.; Siegel, M.
2013. European Conference on Applied Superconductivity (EUCAS 2013), Genova, Italien, 15.–19. September 2013
Self-Planarized Process for the Fabrication of Josephson Junction Devices
Merker, M.; Meckbach, J. M.; Bühler, S.; Ilin, K.; Siegel, M.
2013. Physikertagung Münster 1984 : gemeinsam mit d. Frühjahrstagung Münster 1984 d. Arbeitskreises Festkörperphysik bei d. DPG (AKF 2013), Regensburg, Deutschland, 10.–15. März 2013
Niobium Nitride Technology for Josephson Junction Devices
Meckbach, J. M.; Häffelin, A.; Bühler, S.; Merker, M.; Ilin, K.; Siegel, M.
2013. Physikertagung Münster 1984 : gemeinsam mit d. Frühjahrstagung Münster 1984 d. Arbeitskreises Festkörperphysik bei d. DPG (AKF 2013), Regensburg, Deutschland, 10.–15. März 2013
2012
Zeitschriftenaufsätze
Spectroscopy of a fractional Josephson vortex molecule
Kienzle, U.; Meckbach, J. M.; Buckenmaier, K.; Gaber, T.; Sickinger, H.; Kaiser, C.; Il’in, K.; Siegel, M.; Koelle, D.; Kleiner, R.; Goldobin, E.
2012. Physical Review B, 85 (1), 014521/1–8. doi:10.1103/PhysRevB.85.014521
Direct current superconducting quantum interferometers with asymmetric shunt resistors
Rudolph, M.; Nagel, J.; Meckbach, J. M.; Kemmler, M.; Siegel, M.; Il’in, K.; Koelle, D.; Kleiner, R.
2012. Applied Physics Letters, 101 (5), 052602/1–4. doi:10.1063/1.4739850
Geometry-induced reduction of the critical current in superconducting nanowires
Henrich, D.; Reichensperger, P.; Hofherr, M.; Meckbach, J. M.; Il’in, K.; Siegel, M.; Semenov, A.; Zotova, A.; Vodolazov, D. Y.
2012. Physical Review B, 86 (14), 144504/1–5. doi:10.1103/PhysRevB.86.144504
Proceedingsbeiträge
Reduction of surface losses of CVD diamond by passivation methods
Scherer, T. A.; Aiello, G.; Grossetti, G.; Meier, A.; Schreck, S.; Spaeh, P.; Strauss, D.; Vaccaro, A.; Siegel, M.; Meckbach, J. M.; Scheuring, A.
2012. Proceedings of the 37th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz’12), Wollongong, Australia, September 23-38, 2012, 1–2, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). doi:10.1109/IRMMW-THz.2012.6380403
Vorträge
Effect of Bends on the Critical Current in Superconducting Nanowires
Henrich, D.; Reichensperger, P.; Luck, Y.; Rehm, L.; Dörner, S.; Meckbach, J. M.; Hofherr, M.; Ilin, K.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Vodolazov, D.
2012, Oktober. Applied Superconductivity Conference (ASC 2012), Portland, OR, USA, 7.–12. Oktober 2012
Fabrication process for planarization and miniaturization of Josephson Junctions
Merker, M.; Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Siegel, M.
2012. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2012), Freudenstadt, Deutschland, 30. September–2. Oktober 2012
Versatile Multi-Layer Josephson Junction Process for Vortex Molecules
Meckbach, J. M.; Bühler, S.; Merker, M.; Il’in, K.; Siegel, M.; Buckenmaier, K.; Gaber, T.; Kienzle, U.; Neumaier, B.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Kölle, D.
2012. 76. Physikertagung Münster 1984 : gemeinsam mit d. Frühjahrstagung Münster 1984 d. Arbeitskreises Festkörperphysik bei d. DPG (AKF 2012), Berlin, Deutschland, 25.–30. März 2012
Poster
Creation of artificial 1D vortex-crystals using current injectors
Bühler, S. J.; Meckbach, J. M.; Wünsch, S.; Merker, M.; Ilin, K.; Neumeier, B.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Koelle, D.; Siegel, M.
2012, Oktober. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2012), Freudenstadt, Deutschland, 30. September–2. Oktober 2012
Development of TES Bolometers with High-Frequency Readout Circuit
Shitov, S. V.; Kuzmin, A. A.; Meckbach, J. M.; Ilin, K. S.; Wuensch, S.; Ustinov, A. V.; Siegel, M.
2012, April 4. 23rd International Symposium on Space Terahertz Technology (ISSTT 2012), Tokio, Japan, 2.–4. April 2012
Creation of artificial 1D vortex-crystals using current injectors
Bühler, S.; Meckbach, J. M.; Wünsch, S.; Merker, M.; Ilin, K.; Neumeier, B.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Kölle, D.; Siegel, M.
2012. 76. Physikertagung Münster 1984 : gemeinsam mit d. Frühjahrstagung Münster 1984 d. Arbeitskreises Festkörperphysik bei d. DPG (AKF 2012), Berlin, Deutschland, 25.–30. März 2012
Sub-μm Josephson Junctions for Superconducting Quantum Devices
Meckbach, J. M.; Merker, M.; Bühler, S.; Il’in, K.; Benjamin, N.; Kienzle, U.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Kölle, D.; Siegel, M.
2012. Applied Superconductivity Conference (ASC 2012), Portland, OR, USA, 7.–12. Oktober 2012
2011
Zeitschriftenaufsätze
Aluminum hard mask technique for the fabrication of high quality submicron Nb/A-AlOₓ/Nb Josephson junctions
Kaiser, C.; Meckbach, J. M.; Ilin, K. S.; Lisenfeld, J.; Schäfer, R.; Ustinov, A. V.; Siegel, M.
2011. Superconductor science and technology, 24 (3), Art.Nr. 035005. doi:10.1088/0953-2048/24/3/035005
Vorträge
Thermal and quantum escape of fractional Josephson vortices
Gaber, T.; Kienzle, U.; Buckenmaier, K.; Sickender, H.; Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Siegel, M.; Noelle, D.; Kleiner, R.; Goldobin, E.
2011, Oktober 3. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2011), Autrans, Frankreich, 2.–4. Oktober 2011
Poster
Technology of thin nitride films of Al and Nb for cryogenic quantum applications
Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Siegel, M.
2011, Oktober 3. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2011), Autrans, Frankreich, 2.–4. Oktober 2011
2010
Proceedingsbeiträge
Optimization of Nb/Al-AlO/Nb Technology for the Investigation of Fluxon Dynamics in Long Josephson Junctions
Meckbach, J. M.; Kaiser, C.; Il’in, K.; Siegel, M.; Buckenmaier, K.; Gaber, T.; Kienzle, U.; Sickinger, H.; Goldobin, E.; Kleiner, R.; Koelle, D.
2010. DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Regensburg, 21.03. - 26.03.2010, Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG)
Vorträge
Activation energy of fractional Josephson vortices
Buckenmaier, K.; Gaber, T.; Kienzle, U.; Sickender, H.; Meckbach, J. M.; Kaiser, C.; Ilin, K.; Siegel, M.; Noelle, D.; Goldobin, E.
2010. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2010), Zeuthen, Deutschland, 3.–5. Oktober 2010
Poster
Negative absolute resistance in annular Josephson junctions
Schwarz, T.; Nagel, J.; Meckbach, J. M.; Ilin, K.; Siegel, M.; Kleiner, R.; Noelle, D.
2010, Oktober. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2010), Zeuthen, Deutschland, 3.–5. Oktober 2010
Nb/Al-AlO/Nb fabrication process for High-Quality Josephson Junctions
Meckbach, J. M.; Kaiser, C.; Heni, W.; Heunisch, S.; Ilin, K.; Siegel, M.
2010, Oktober. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2010), Zeuthen, Deutschland, 3.–5. Oktober 2010
2009
Vorträge
Scalable Josephson Junction Technology for Quantum Devices
Kaiser, C.; Meckbach, J. M.; Skacel, S.; Wünsch, S.; Ilin, K.; Siegel, M.
2009. S-PULSE Workshop Applied Superconductor Electronics in Quantum Metrology (2009), Braunschweig, Deutschland, 5.–7. Mai 2009
Poster
Spectroscopy of the eigenfrequencies of a fractional vortex molecule in a long annular Josephson junction
Sickinger, H.; Buckenmaier, K.; Kienzle, U.; Gaber, T.; Meckbach, J. M.; Kaiser, C.; Ilin, K.; Siegel, M.; Kleiner, R.; Koelle, D.; Goldobin, E.
2009, Oktober 5. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2009), Oberhof, Deutschland, 4.–6. Oktober 2009
High Quality Long Josephson Junctions and Realization of m-sized Current Injectors for Investigations of Fractional Josephson Vortices
Meckbach, J. M.; Kaiser, C.; Il’in, K.; Siegel, M.; Buckenmaier, K.; Kienzle, U.; Gaber, T.; Sickender, H.; Goldobin, E.
2009, Oktober 5. Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2009), Oberhof, Deutschland, 4.–6. Oktober 2009